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그리고 백 컨택 태양전지 및 그 제조방법 본문중에서도
청구항 14항
에미터 랩 쓰루 태양전지의 제조방법으로서,
전면과, 후면과, 상기 전면 및 상기 후면을 연결하는 복수의 홀을 구비한 반도체 웨이퍼를 제공하는 단계;
상기 후면에 스핀 온 글래스(SOG) 확산 장벽을 도포하는 단계;
상기 후면 홀들을 포함하지 않는 패턴으로 레시스트를 도포하는 단계;
상기 웨이퍼를 식각하여, 상기 레시스트에 의해 덮이지 않은 스핀 온 글래스를 제거하는 단계;
상기 웨이퍼로부터 상기 레시스트를 벗겨내는 단계;
상기 웨이퍼에 제1 도펀트를 확산시키는 단계;
상기 웨이퍼를 식각하여, 남아있는 스핀 온 글래스를 제거하는 단계; 및
상기 후면 홀들을 포함하는 패턴으로 제1 전도성 타입 금속 그리드를 상기 후면에 도포하고, 상기 레시스트를 포함하는 패턴으로 제2 전도성 타입 금속 그리드를 상기 후면에 도포하는 단계
를 포함하는 에미터 랩 쓰루 태양전지의 제조방법.