[단독] 삼성전자, '슈퍼乙' 자이스서 AIMS EUV 공급받는다 : 네이트 뉴스 (nate.com)

삼성전자가 독일 광학기업 자이스(ZEISS)와 최첨단 반도체 장비 공급 계약을 맺은 것으로 확인됐다. 삼성전자가 반도체 시장 ‘슈퍼을(乙)’로 통하는 네덜란드 장비 업체 ASML에 광학렌즈와 모듈을 독점 공급하는 자이스와 직거래하는 것은 이번이 처음으로 획기적이라는 평가가 나온다. 두 회사 간 협력은 공정수율과 품질, 미세화 속도를 높이는 차원을 넘어 ASML 의존도를 일부 낮추면서도 반도체 핵심장비 공급망을 다변화한다는 데 의미가 있다.

자이스의 AIMS EUV는 반도체 포토마스크(전기회로가 들어가는 필름)의 결함 유무를 정밀하게 살피는 장비로, 일종의 ‘현미경’ 역할을 한다. 삼성전자는 AIMS EUV 장비를 경기 평택과 용인시, 미국 텍사스주 테일러시에 짓고 있는 파운드리(반도체 위탁생산) 공장 등 첨단 반도체 설비에 투입할 것으로 예상된다. 대만의 TSMC사 대비 열위로 평가받는 삼성전자 파운드리 수율(투입량 대비 양품률)을 높이기 위해서는 포토마스크에 생기는 작은 흠집 하나라도 파악하는 게 관건인데, 이 막중한 임무를 AIMS EUV 장비가 맡는 것이다. 직접 웨이퍼를 인쇄해 결함을 찾아내려면 시간과 비용이 많이 들지만, AIMS EUV 장비를 활용하면 인쇄 없이 분석이 가능하다. 도입 대수와 시기는 삼성전자의 투자 속도나 양산 계획 등에 따라 조절될 것으로 보인다.