http://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=101&oid=277&aid=0004000789
EUV 장비 활용해 7나노 개발.. 향후 4나노까지 미세화.. 삼성전자가 반도체 미세공정을 4나노미터까지 낮추
겠다고 발표했다. 이에 따라 전세계 파운드리 기업간 미세공정 경쟁이 더욱 격해질 전망이다. 삼성전자는
지난해 10월에 업계 최초로 10나노 공정으로 양산하는데 성공했다. 이어 올해 4월에는 10나노 2세대 공정을
개발하는데 성공했다. 삼성전자는 6나노와 5나노까지 공정을 미세화한 이후에는 차세대 MBCFET 공정을
활용해 4나노 LPP까지 미세화할 계획이라고 밝혔다.