http://www.ddaily.co.kr/news/article/?no=193436
유진테크가 SK하이닉스에 싱글형원자층증착(ALD) 장비에 이어 배치형도 공급 예정
이 배치형은 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 독점하던 제품
이렇게 소재뿐만 아니라
장비분야에서도 탈일본이 가속화되고 있습니다.
멍청한 아베 고맙습니다.
<유진테크 - 배치형 싱글형원자층증착(ALD)장비>
- 기존 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 독점하는 제품
- SK하이닉스에 2021년부터 공급할 예정 (이미 인증 완료한 상태)
- ALD 장비는 반도체 증착공정에서 활용
- 삼성전자도 유진테크 배치형 ALD 장비 (테스트하고 있는것으로 알려져, 6월 결과 나올예정)