< 국내 연구진이 50여 년 동안 학계에서 풀지 못했던 플라스마의 히스테리시스 원인을 규명하고, 이를 제어할 수 있는 기술을 개발>
▲ 플라스마를 이용하는 반도체나 디스플레이 공정에서 품질을 떨어뜨리는 고질적 문제를 해결해 생산성 향상 및 반도체 시장의 양대 산업인 소자와 장비산업의 동반 성장을 이끌 것으로 기대
▲ 또한 특정 비활성 기체를 주입하거나 최적화된 공정에서 안정적으로 플라스마를 사용할 수 있는 제어 기술도 개발
▲ 반도체 시험 등에 사용되는 고부가가치의 첨단 장비는 그동안 전량 수입에 의존해 왔으나 이번 기술 개발로 장비를 국산화함으로써 반도체 산업에 새로운 전기를 마련
=================================
어떤 물질이 거쳐 온 과거가 현재 상태에 영향을 주는 현상을 '히스테리시스', 즉 이력현상이라고 하는데 국내 연구진이 50여 년 동안 학계에서 풀지 못했던 플라스마의 히스테리시스 원인을 규명하고, 이를 제어할 수 있는 기술을 개발함