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삼성, 극자외선(EUV) 노광장비 선제적 도입.. 반도체 업계가 미세공정 분야의 오랜 기술과제를 해결하기 위
해 극자외선(EUV) 노광장비 도입에 박차를 가한다. 삼성과 SK하이닉스를 비롯해 인텔과 TSMC 등은 현재 E
UV 장비를 구입했거나 향후 도입할 예정인것으로 알려졌다. 이로써 업계는 머지않아 '神의 영역'인 2나노미
터 '초 미세공정' 시대를 열겠다는 목표다. 특히 삼성전자는 지난달 23일 경기도 화성캠퍼스에 착공한 EUV
전용공장을 내년 하반기까지 완공한다는 계획에 맞춰 신속히 장비를 사들이고있다. 장비 확보에 가장 적극
적인 기업은 삼성전자다. 업계 한관계자는 "삼성은 당초 알려졌던 계획보다 더 신속히 EUV 노광장비를 도입
하고 있다" EUV 노광장비는 ASML가 전세계에서 유일하게 제작해 판매한다. EUV는 향후 업체간의 기술차
이를 결정짓는 바로미터가 될 것으로 점쳐진다.
신의 영역인 2나노도 결국 삼성전자가 해낼듯