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조 바이든 미국 행정부 산하 자문위원회가 중국의 반도체 굴기를 막기 위해 반도체 장비 대중 수출 봉쇄 대상을 차세대 최첨단 공정용 장비뿐만 아니라 현재 사용되고 있는 주력 장비로까지 확대하는 정책을 제안한 것으로 확인됐다. 이에 따라 중국에 생산기지를 둔 국내 반도체 산업계에 적색 경보등이 켜졌다. 규제가 현실화하면 당장 삼성전자 SK하이닉스가 중국에서 운영 중인 메모리 공장을 첨단화하는 데 지장이 생길 수 있다.

12일 반도체 업계에 따르면 바이든 정부는 극자외선(EUV) 노광장비의 전(前) 단계 기술인 액침불화아르곤(ArF) 노광장비 등 심자외선(DUV) 장비 중국 수출을 전면 금지하는 제재안을 구상하고 있다. 이와 관련해 미국 국가안보회의(NSC) 산하 인공지능(AI) 위원회는 지난달 초 연방의회에 제출한 보고서에서 "반도체 산업에서 중국과 격차를 확대하기 위해 일본 네덜란드 정부 등과 협력해 EUV·ArF 장비의 중국 수출을 금지해야 한다"고 제안했다. 미국은 이미 도널드 트럼프 정부에서 최첨단 시스템 반도체 생산을 위한 EUV 장비 중국 수출을 금지시켰다. ArF 장비는 5나노미터(㎚·1㎚는 10억분의 1m)급 시스템 반도체 생산에 쓰이는 EUV 장비보다 기술력이 떨어진다. 하지만 16㎚급 반도체를 생산하는 주력 첨단장비다. 삼성전자와 SK하이닉스는 중국 공장에서 3차원(3D) 적층(V) 낸드플래시와 10나노급 D램 같은 메모리 제품을 양산하는 데 ArF 장비를 사용한다.

미국이 EUV에 머물렀던 중국 수출금지 제재를 DUV까지 확대하는 카드를 꺼내들며 국내 반도체 업계 위기감은 커지고 있다. 이와 관련해 한국반도체산업협회(KSIA)는 최근 정부에 미국의 대중 규제 강화에 대한 대비책 마련을 계속 건의하고 있다. 협회는 삼성전자·SK하이닉스의 중국 메모리 공장이 미국 정부 규제에서 예외 적용을 받을 수 있도록 한국 정부가 조치해달라는 의견을 낸 것으로 전해졌다. 현재는 SMIC 등 블랙리스트로 지정된 일부 중국 업체에 대해서만 장비 수출이 제한되고 있지만 미·중 관계가 더 악화되면 중국에 있는 반도체 업체 전체로 규제가 확산될 수 있다는 지적이다.

박재근 한양대 교수는 "미·중의 반도체 패권 경쟁이 심화하면서 삼성전자 시안공장과 SK하이닉스 우시공장 확장을 위해 투입되는 장비가 미국 허가를 받지 못하는 상황이 올 수 있다"며 "기업 단독으로는 협상력에 한계가 있고 이를 풀어나갈 한국 정부의 외교통상 역량이 관건"이라고 말했다.