동진쎄미켐이 삼성전자에 '불화아르곤(
ArF) 포토레지스트(
PR)' 공급에 성공했다.
2019년 7월 일본의 극자외선(
EUV) 포토레지스트 수출규제 이후 이뤄진 값진 반도체 소재 국산화 사례다. 동진쎄미켐은
PR 포트폴리오를 지속적으로 늘려나갈 전망이다.
25일 업계에 따르면 동진쎄미켐은 지난해 연말부터 삼성전자 최신 D램 생산라인에 ArFi(불화아르곤 이머전) 포토레지스트를 공급하고 있는 것으로 확인됐다.
https://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=105&oid=030&aid=0002935272