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작성일 : 21-03-16 05:46
[과학/기술] 필옵틱스, 반도체 노광기 생산 도전장
 글쓴이 : Architect
조회 : 2,840  

http://www.thebell.co.kr/free/content/ArticleView.asp?key=202103091242498520107264&svccode=00&page=1&sort=thebell_check_time

<기사요약>
필옵틱스는 해외 반도체 장비 회사와 협업을 통해 BSA DI (Back Slide Align Direct Imaging) 노광장비를 개발, 현재 양산 테스트를 진행
반도체 노광장비 시장은 미국, 일본, 네덜란드 소재 소수의 업체가 장악. EUV 노광기의 경우 네덜란드 ASML이 독점. 필옵틱스가 양산 테스트를 거쳐 올해 안에 시판하면 국내 최초의 노광장비 생산업체가 됨
필옵틱스가 개발하고 있는 BSA DI 노광기는 12인치 웨이퍼 공정에 적용되는 장비, 다이렉트 이미징(DI)을 통해 포토 마스크가 없는 노광을 구현. 고품질 다파장 광원(365~405nm)을 활용.
현재 양산 퀄(Qual) 수준의 개발 단계, 이르면 올해 3~4분기에 고객사 양산라인에 진입해 첫 매출이 실현될 가능성이 큼

찾아보니 필옵틱스는 주로 디스플레이용 노광기를 개발해 납품하던 회사인데, 그동안의 기술축적과 개발 경험들을 활용해 이번에는 12인치 웨이퍼 공정에 적용 가능한 반도체 노광기를 개발하는 것 같습니다.  

물론 EUV가 13.5nm 정도임을 고려하면 공정에 사용하는 파장이 다소 긴 것 같아 생산 품질은 두고봐야겠지만 다이렉트 이미징(DI) 방식을 사용해 기존과 달리 포토 마스크가 필요없다는 점이 특이하네요. 지속적인 연구와 보완을 통해 점차 개선될 수 있을 것이라고 생각합니다.

아래 링크 들어가시면 노광기 샘플 사진을 보실 수 있습니다. 
http://www.philoptics.com/kr/product/product_view.php?idx=13
출처 : 해외 네티즌 반응 - 가생이닷컴https://www.gasengi.com


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Architect 21-03-16 05:46
   
노원남자 21-03-16 07:48
   
삼성이 적극지원해야할 기업같네요.이런건 국내기업이 생산하고 같이가는게 좋겠다고 보이네요.
     
유기화학 21-03-27 21:27
   
동의합니다
유기화학 21-03-16 07:57
   
반도체 노광장비라면 캐논,니콘에서 수입하던거 대체하는게아닐까 추측되네요...양산성공해서 일본산 반도체노광장비 대체하길 바랍니다
전쟁망치 21-03-16 08:17
   
일단 일제 장비는 장기적으로 아웃 시키는 방향으로
     
유기화학 21-03-27 21:27
   
22222
이름없는자 21-03-16 09:45
   
이건 캐논/니콘이 장악하던  DUV 노광기이긴 하지만 당분간은 수요가 충분할 겁니다. 반도체가 다 10 나노급 이하의 공정으로 EUV 만들어지는 건 아니니까요. 요즘 모자란다고 난리치는 자동차 반도체 등은 아직 30-90 나노급 공정으로 만듭니다. 사실 반도체 패권이 미국 한국과 대만으로 넘어온 거 생각하면 진작 국산화 되었어야 하지만 아직은 DUV 노광장비는 일본이 장악하고 있지요.
     
유기화학 21-03-27 21:28
   
그렇죠..여전히 유망해보입니다
totos 21-03-16 11:27
   
이상하네요.
삼성, 하이닉스 DUV는 ASML 제품일건데요.
한국에서 DUV 점유율은 ASML이 1위이고, DUV 세계 시장 점유율도 ASML이 60% 일건데요.
삼성은 IMF 시절부터 ASML로 전량 교체했습니다.
중고인생 21-03-16 12:57
   
국내업체라고 못할것도 없습니다

차근차근 나가다보면 우리나라엔지니어들 과 연구인력들의 능력은 대단합니다

duv에서 시작해서 asml에서 독점하고 있는 euv까지도 국산화 해야합니다

앞으로 반도체는 산업의쌀에서 국제적인 분쟁도구가 될수 있습니다.

이런걸 봣을때 미쿡특허가 들어가 있는 장비 및 부품 등은 차근차근 국산화 해야된다고 봅니다

누누히 애기하지만 미쿡이 일본반도체를 죽일때 지들 반도체장비특허 장비에 대한 제재도 가햇기에 일본이

반도체장비 부품에 투자를 많이 해서 지금에 이르게 된겁니다

우리나라도 하루속히 반도체장비업체들 지원과 부품업체 지원을 해서 반도체생태계에서도 자립할수 있는 시대가

와야할겁니다
     
유기화학 21-03-27 21:28
   
동의합니다
 
 
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