노광장비는 한국은 아예 발도 못붙였고 (점유율 0%대), 포토레지스트는 일본이 앞도적으로 점유하고 있어서, 국산화를 논하기엔 아직이죠 ㅠ 국내 기업이 이제 삼성에 필요한 수준에 준하는 기준으로 맞추는게 시작단계인데 시간이 많이 필요할 뿐더러(단순 몇년단위 수준이 아니더군요..) 향후 수율문제도 관건..
노광장비는 삼성이 네덜란드의 ASML에 주로 쓰기도 하고, ASML의 EUV 노광 장비 개발에 삼성이 투자를 해서 ASML의 EUV 장비는 일본 업체들이 사지도 못합니다. 물론 일본 장비업체들이 EUV 노광장비도 못만들구요.
그리고, 10나노 미만의 UUV용 포토레지스터는 삼성이 미국의 EUV 포토레지스트 업체인 '인프리아' 투자를 했고, 조만간 상용제품이 공급될 예정입니다. 이 포토레지스트의 성능은 일본산과는 비교가 안될 정도로 좋더군요 ㅎㅎㅎ
국내업체들은 그 사이 포토레지스트를 벨기에 업체에서 우회 수입하고, 미국 다우와 듀퐁, 독일의 머크 등에서 직수입중이고, 또한 듀퐁이 국내에 포토레지스트 공장을 짓고 있어서 내년부터는 국내에서 공급이 가능합니다. 20나노 이상의 패턴에 대응하는 포토레지스트는 국내 기업, 미국, 대만, 중국 등등이 다 만들어서 걱정 없습니다.
수율 걱정은 안해도 됩니다. 다 공정 규격에 맞아야 쓰는거니 ...
그리고, EUV용 포토레지스트 개발에 국내업체들도 도전 중인데, 짧게는 2~3년 길게는 4~5년을 예상하더군요.
일본산이 중요한 것이 아니라 예전처럼 한 나라 혹은 한 기업이 80~90% 이상 독점하지 않는 것이 중요하죠.
모르긴 몰라도 단가가 조금 나가더라도 국산 비중을 적어도 30~40%는 유지하지 싶네요.
기업들이 싫어하는 것이 비용증가지만 그것 보다 더 극혐하는 것이 불확실성입니다.
EUV포토레지스트는 처음부터 기술장벽이 높은 소재였습니다 tok가 삼성이랑 손잡고 삼성이 euv한다고 하니까 고객사에 맞춰서 개발한 측면도 있죠 사실상 euv공정은 삼성이랑 대만t사 뿐이니까요 한마디로 기술개발은 했고 고객사의 노하우까지 적용해서 만들어 놨더니 팔아먹을곳이 없었던거죠ㅋ 우리도 동진세미캠이 만든다고는 하는데 아직 시간이 필요하다고 합니다
작성일 : 20-07-01 15:52
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